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 80686 ミュンヘン, ドイツ     
 Fraunhofer-Institut für Mikrotechnik und Mikrosysteme IMM
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 69126 ハイデルベルク, ドイツ      
 HEIDELBERG INSTRUMENTS MIKROTECHNIK GmbH
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 78052 Villingen-Schwenningen, ドイツ      
 Institut für Mikrotechnik und Informationstechnik
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企業の紹介
さらに読む... FRTは、研究開発および量産用の3D計測機器を提供する世界有数の企業です。FRT MicroProf®は、半導体フロントエンド、アドバンストパッケージング、MEMS、VCSEL、自動車、機械工学、光学、LED、医療の各市場で定評があります。
第3世代の超安定したプラットフォームと独自のソフトウェアは、25年以上の経験の成果です。FRTのマルチセンサーコンセプトとハイブリッド計測技術は、世界中の生産ラインを支えています。アプリケーションは、非接触で完全に自動化されています。測定パラメータは、トポグラフィー、ステップハイト、ラフネス、TTV、曲率、反り、テンション、レイヤーとスタックの厚さ、オーバーレイとCDなど、多岐にわたります。
ポイントセンサー、ラインセンサー、エリアセンサー、層厚センサー、原子間力顕微鏡など、さまざまな測定方法を1つの測定装置とレシピで組み合わせることができます。
数々の賞を受賞した測定システムは、トポグラフィー、構造、段差、粗さ、摩耗、層の厚さ、その他多くのパラメータに関する情報を、非接触・非破壊で(完全に自動で)提供します。
アプリケーションに応じて、ポイントセンサー、ラインセンサー、エリアセンサー、層厚センサー、原子間力顕微鏡など、さまざまな測定方法を1台の測定器に組み合わせることができ、測定範囲はメートル単位からサブナノメートル単位まで対応しています。
第3世代の超安定したプラットフォームと独自のソフトウェアは、25年以上の経験の成果です。FRTのマルチセンサーコンセプトとハイブリッド計測技術は、世界中の生産ラインを支えています。アプリケーションは、非接触で完全に自動化されています。測定パラメータは、トポグラフィー、ステップハイト、ラフネス、TTV、曲率、反り、テンション、レイヤーとスタックの厚さ、オーバーレイとCDなど、多岐にわたります。
ポイントセンサー、ラインセンサー、エリアセンサー、層厚センサー、原子間力顕微鏡など、さまざまな測定方法を1つの測定装置とレシピで組み合わせることができます。
数々の賞を受賞した測定システムは、トポグラフィー、構造、段差、粗さ、摩耗、層の厚さ、その他多くのパラメータに関する情報を、非接触・非破壊で(完全に自動で)提供します。
アプリケーションに応じて、ポイントセンサー、ラインセンサー、エリアセンサー、層厚センサー、原子間力顕微鏡など、さまざまな測定方法を1台の測定器に組み合わせることができ、測定範囲はメートル単位からサブナノメートル単位まで対応しています。
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さらに読む... Die Pulsar Photonics GmbH ist ein 2013 gegründetes technologieorientiertes Spin-off des Fraunhofer-Instituts für Lasertechnik ILT. Das Leistungsspektrum des Unternehmens umfasst die Entwicklung, die Produktion und den Vertrieb integrierter Werkzeug- und Messsysteme für die Materialbearbeitung mit Kurz- und Ultrakurzpulslasern.
Modulare Systeme zur Strahlformung, -teilung und –ablenkung werden gezielt mit Sensorik verstärkt, um die Bedienbarkeit von UKP-Lasersystemen zu vereinfachen und die Produktivität signifikant zu steigern. Durch die Integration von Sensormodulen können Prozesse überwacht sowie Werkstücke und Bearbeitungsergebnisse direkt in der Maschine qualifiziert werden. Die Schnittstelle zum Benutzer sowie die Ansteuerung der Modulkette erfolgt über eine intuitiv bedienbare Software, die auf die Ansteuerung peripherer Komponenten und eine weitestgehend automatisierte Konfiguration der Module abgestimmt ist.
Neben der Systementwicklung ist Pulsar Photonics kompetenter Partner für die Einzelteil- und Serienfertigung mit (Ultra-)kurzpulslasern. Kernprozesse sind das Strukturieren, Bohren und Präzisionsschneiden.
Das Pulsar Photonics Team besteht aus Experten mit langjähriger Projekterfahrung in den Bereichen der Laserprozess- und Systementwicklung. Als international ausgerichtetes Unternehmen ist Pulsar Photonics eingebunden in ein leistungsfähiges Netzwerk aus Laser-, Komponenten- und Maschinenherstellern sowie Laseranwendern aus den verschiedensten Bereichen.
Modulare Systeme zur Strahlformung, -teilung und –ablenkung werden gezielt mit Sensorik verstärkt, um die Bedienbarkeit von UKP-Lasersystemen zu vereinfachen und die Produktivität signifikant zu steigern. Durch die Integration von Sensormodulen können Prozesse überwacht sowie Werkstücke und Bearbeitungsergebnisse direkt in der Maschine qualifiziert werden. Die Schnittstelle zum Benutzer sowie die Ansteuerung der Modulkette erfolgt über eine intuitiv bedienbare Software, die auf die Ansteuerung peripherer Komponenten und eine weitestgehend automatisierte Konfiguration der Module abgestimmt ist.
Neben der Systementwicklung ist Pulsar Photonics kompetenter Partner für die Einzelteil- und Serienfertigung mit (Ultra-)kurzpulslasern. Kernprozesse sind das Strukturieren, Bohren und Präzisionsschneiden.
Das Pulsar Photonics Team besteht aus Experten mit langjähriger Projekterfahrung in den Bereichen der Laserprozess- und Systementwicklung. Als international ausgerichtetes Unternehmen ist Pulsar Photonics eingebunden in ein leistungsfähiges Netzwerk aus Laser-, Komponenten- und Maschinenherstellern sowie Laseranwendern aus den verschiedensten Bereichen.
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