Spectrométrie  Producteurs, Vendeurs, Fournisseurs

FRT est l'un des principaux fournisseurs mondiaux de métrologie 3D pour la R&D et la production de masse. Le FRT MicroProf® est établi sur les marchés de la face avant des semi-conducteurs, de l'emballage avancé, des MEMS, des VCSEL, de l'automobile, de l'ingénierie mécanique, de l'optique, des LED et du médical.
Une plateforme ultra-stable de troisième génération et un logiciel propriétaire sont le résultat de plus de 25 ans d'expérience. Le concept multicapteur FRT et la technologie de mesure hybride soutiennent les lignes de production dans le monde entier. Les applications sont sans contact et entièrement automatiques. Les paramètres de mesure sont la topographie, la hauteur de marche, la rugosité, le TTV, la courbure, le gauchissement, la tension, l'épaisseur des couches et des piles, le recouvrement et le CD - et bien d'autres encore.
Différentes méthodes de mesure peuvent être combinées avec des capteurs de points, de lignes et de surfaces ainsi que des capteurs d'épaisseur de couche et des microscopes à force atomique dans un seul appareil de mesure et une seule recette.
Les systèmes de mesure primés à plusieurs reprises fournissent (également de manière entièrement automatique) des informations sur la topographie, la structure, la hauteur de marche, la rugosité, l'usure, l'épaisseur de couche et de nombreux autres paramètres, sans contact et sans destruction.
Selon l'application, différentes méthodes de mesure avec des capteurs d'épaisseur de point, de ligne, de surface et de couche ainsi que la microscopie à force atomique peuvent être combinées dans un seul appareil de mesure - les plages de mesure peuvent s'étendre du mètre au sub-nanomètre.