Misurazione della planarità  Fabbricanti, Commercianti, Fornitori

FRT è uno dei fornitori leader mondiali di metrologia 3D per la R&S e la produzione di massa. Il FRT MicroProf® è affermato nei mercati del front-end dei semiconduttori, del packaging avanzato, dei MEMS, dei VCSEL, dell'automobile, dell'ingegneria meccanica, dell'ottica, dei LED e del medicale.
Una piattaforma ultra-stabile di terza generazione e un software proprietario sono il risultato di più di 25 anni di esperienza. Il concetto multisensore FRT e la tecnologia di misurazione ibrida supportano le linee di produzione in tutto il mondo. Le applicazioni sono senza contatto e completamente automatiche. I parametri di misura sono topografia, altezza del gradino, rugosità, TTV, curvatura, deformazione, tensione, spessore dello strato e dello stack, overlay e CD - e molti altri.
Diversi metodi di misurazione possono essere combinati con sensori di punti, linee e aree, così come sensori di spessore dello strato e microscopi a forza atomica in un unico dispositivo di misurazione e ricetta.
I sistemi di misurazione pluripremiati forniscono (anche in modo completamente automatico) informazioni su topografia, struttura, altezza del gradino, rugosità, usura, spessore dello strato e molti altri parametri, senza contatto e non distruttivi.
A seconda dell'applicazione, diversi metodi di misurazione con sensori di punti, linee, aree e spessori di strato, così come la microscopia a forza atomica, possono essere combinati in un dispositivo di misurazione - i campi di misurazione possono estendersi dal metro al sub-nanometro.