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- 平坦度測定装置 - Lamtech interferometers are based on the principle of grazing incidence of light, thus matte as well as polished parts c...
- 平坦度測定装置 - It is possible to measure parts with a diameter up to 620mm
- 平坦度測定装置 - interferometric measuring systems for non-contact flatness measurement of finish-machined as well as polished precision ...
説明
Interferometric measuring systems for non-contact flatness measurement of finish-machined parts.
TOPOS interferometers operate according to the principle of grazing incidence of light. The flatness of also rougher parts can be measured, which show no more fringe pattern with optical flats or Fizeau-interferometers. Next to lapped or ground parts also polished parts can be measured.
仕様The absolute accuracy is up to 0.1µm over the entire measurement area The time of measurement takes less than 2 seconds Due to the non-contact process, the measurement instruments can be applied in the 100% control Due to the extension by a cross- or rotary table it is possile to measure parts with an outer diameter of 620mm
By default, TOPOS flatness measuring instruments are available with two different sizes of measuring field: with a diameter of 100mm or 50m. An adaptation towards special sizes is possible according to request.
使用分野/使用範囲metal (steel, aluminium, bronze, copper, etc.) ceramic (AL2O3, SiC, SiN, etc.) plastic material (thermoplastic, thermoset etc.) graphite components of fuel and diesel pumps pumps for power steering water pumps cutting tools control valves sealing valves mechanical seals ceramic sealing discs sealing components
さらに読む... The parts may consist of diverse materials:
Examples of application areas:
- 平坦度測定装置 | 寸法測定器
- 平坦度測定装置
- 平坦度測定装置
- 平坦度測定装置 | プロファイル測定システム
- 平坦度測定装置 | 原材料測定器 | 寸法測定器
- 平坦度測定装置
- 平坦度測定装置 | 寸法測定器 | プロファイル測定システム
- 平坦度測定装置
企業の紹介
さらに読む... FRTは、研究開発および量産用の3D計測機器を提供する世界有数の企業です。FRT MicroProf®は、半導体フロントエンド、アドバンストパッケージング、MEMS、VCSEL、自動車、機械工学、光学、LED、医療の各市場で定評があります。
第3世代の超安定したプラットフォームと独自のソフトウェアは、25年以上の経験の成果です。FRTのマルチセンサーコンセプトとハイブリッド計測技術は、世界中の生産ラインを支えています。アプリケーションは、非接触で完全に自動化されています。測定パラメータは、トポグラフィー、ステップハイト、ラフネス、TTV、曲率、反り、テンション、レイヤーとスタックの厚さ、オーバーレイとCDなど、多岐にわたります。
ポイントセンサー、ラインセンサー、エリアセンサー、層厚センサー、原子間力顕微鏡など、さまざまな測定方法を1つの測定装置とレシピで組み合わせることができます。
数々の賞を受賞した測定システムは、トポグラフィー、構造、段差、粗さ、摩耗、層の厚さ、その他多くのパラメータに関する情報を、非接触・非破壊で（完全に自動で）提供します。
アプリケーションに応じて、ポイントセンサー、ラインセンサー、エリアセンサー、層厚センサー、原子間力顕微鏡など、さまざまな測定方法を1台の測定器に組み合わせることができ、測定範囲はメートル単位からサブナノメートル単位まで対応しています。
第3世代の超安定したプラットフォームと独自のソフトウェアは、25年以上の経験の成果です。FRTのマルチセンサーコンセプトとハイブリッド計測技術は、世界中の生産ラインを支えています。アプリケーションは、非接触で完全に自動化されています。測定パラメータは、トポグラフィー、ステップハイト、ラフネス、TTV、曲率、反り、テンション、レイヤーとスタックの厚さ、オーバーレイとCDなど、多岐にわたります。
ポイントセンサー、ラインセンサー、エリアセンサー、層厚センサー、原子間力顕微鏡など、さまざまな測定方法を1つの測定装置とレシピで組み合わせることができます。
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アプリケーションに応じて、ポイントセンサー、ラインセンサー、エリアセンサー、層厚センサー、原子間力顕微鏡など、さまざまな測定方法を1台の測定器に組み合わせることができ、測定範囲はメートル単位からサブナノメートル単位まで対応しています。
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