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- 平坦度測定 - interferometric measuring systems for non-contact flatness measurement of finish-machined as well as polished precision pa...
Interferometric measuring systems for non-contact flatness measurement of finish-machined parts.
TOPOS interferometers operate according to the principle of grazing incidence of light. The flatness of also rougher parts can be measured, which show no more fringe pattern with optical flats or Fizeau-interferometers. Next to lapped or ground parts also polished parts can be measured.
By default, TOPOS flatness measuring instruments are available with two different sizes of measuring field: with a diameter of 100mm or 50m. An adaptation towards special sizes is possible according to request.
The parts may consist of diverse materials:
Examples of application areas:
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表面の平坦度を測定し、形状パラメータを評価するには、白色光干渉計を使用したコヒーレンススキャニング干渉計などの非接触測定技術を使用します。光学式平坦度測定では、数百万点の測定ポイントを数分の1秒のうちに取得することにより、表面全体を確実に検査することができます。検査する表面が変形しないため、柔らかい試験片や非常にデリケートな試験片でも、信頼性の高い平坦度評価が可能です。光学式表面平坦度測定は、品質管理や生産工程での全数検査に最適です。
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