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- 평면도 측정 기기 - Lamtech interferometers are based on the principle of grazing incidence of light, thus matte as well as polished parts...
- 평면도 측정 기기 - It is possible to measure parts with a diameter up to 620mm
- 평면도 측정 기기 - interferometric measuring systems for non-contact flatness measurement of finish-machined as well as polished precisio...
설명
Interferometric measuring systems for non-contact flatness measurement of finish-machined parts.
TOPOS interferometers operate according to the principle of grazing incidence of light. The flatness of also rougher parts can be measured, which show no more fringe pattern with optical flats or Fizeau-interferometers. Next to lapped or ground parts also polished parts can be measured.
상세내역The absolute accuracy is up to 0.1µm over the entire measurement area The time of measurement takes less than 2 seconds Due to the non-contact process, the measurement instruments can be applied in the 100% control Due to the extension by a cross- or rotary table it is possile to measure parts with an outer diameter of 620mm
By default, TOPOS flatness measuring instruments are available with two different sizes of measuring field: with a diameter of 100mm or 50m. An adaptation towards special sizes is possible according to request.
신청서 / 필드 항목metal (steel, aluminium, bronze, copper, etc.) ceramic (AL2O3, SiC, SiN, etc.) plastic material (thermoplastic, thermoset etc.) graphite components of fuel and diesel pumps pumps for power steering water pumps cutting tools control valves sealing valves mechanical seals ceramic sealing discs sealing components
내용보기 The parts may consist of diverse materials:
Examples of application areas:
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당사 소개
내용보기 FRT는 R&D 및 대량 생산을 위한 3D 계측 분야의 세계 최고의 공급업체 중 하나입니다. FRT MicroProf®는 반도체 프론트 엔드, 고급 패키징, MEMS, VCSEL, 자동차, 기계 공학, 광학, LED 및 의료 시장에서 설립되었습니다.
3세대 매우 안정적인 플랫폼과 독점 소프트웨어는 25년 이상의 경험의 결과입니다. FRT 다중 센서 개념과 하이브리드 측정 기술은 전 세계 생산 라인을 지원합니다. 응용 프로그램은 비접촉식이며 완전 자동입니다. 측정 매개변수는 지형, 계단 높이, 거칠기, TTV, 곡률, 뒤틀림, 장력, 레이어 및 스택 두께, 오버레이 및 CD 등입니다.
다양한 측정 방법을 하나의 측정 장치 및 레시피에서 점, 선 및 면적 센서, 층 두께 센서 및 원자력 현미경과 결합할 수 있습니다.
여러 수상 경력에 빛나는 측정 시스템은 지형, 구조, 단차 높이, 거칠기, 마모, 층 두께 및 기타 여러 매개변수, 비접촉 및 비파괴에 대한 정보를 완전 자동으로 제공합니다.
응용 분야에 따라 점, 선, 면적 및 층 두께 센서와 원자력 현미경을 사용한 다양한 측정 방법을 하나의 측정 장치에 결합할 수 있습니다. 측정 범위는 미터에서 나노미터 미만 범위까지 확장될 수 있습니다.
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