スペクトロメトリー  製造業者, 販売業者, サプライヤー, 供給業者, 仕入れ先

FRTは、研究開発および量産用の3D計測機器を提供する世界有数の企業です。FRT MicroProf®は、半導体フロントエンド、アドバンストパッケージング、MEMS、VCSEL、自動車、機械工学、光学、LED、医療の各市場で定評があります。
第3世代の超安定したプラットフォームと独自のソフトウェアは、25年以上の経験の成果です。FRTのマルチセンサーコンセプトとハイブリッド計測技術は、世界中の生産ラインを支えています。アプリケーションは、非接触で完全に自動化されています。測定パラメータは、トポグラフィー、ステップハイト、ラフネス、TTV、曲率、反り、テンション、レイヤーとスタックの厚さ、オーバーレイとCDなど、多岐にわたります。
ポイントセンサー、ラインセンサー、エリアセンサー、層厚センサー、原子間力顕微鏡など、さまざまな測定方法を1つの測定装置とレシピで組み合わせることができます。
数々の賞を受賞した測定システムは、トポグラフィー、構造、段差、粗さ、摩耗、層の厚さ、その他多くのパラメータに関する情報を、非接触・非破壊で（完全に自動で）提供します。
アプリケーションに応じて、ポイントセンサー、ラインセンサー、エリアセンサー、層厚センサー、原子間力顕微鏡など、さまざまな測定方法を1台の測定器に組み合わせることができ、測定範囲はメートル単位からサブナノメートル単位まで対応しています。

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