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- 白色光干渉計 - Lamtech interferometers are based on the principle of grazing incidence of light, thus matte as well as polished parts ca...
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- 白色光干渉計 - interferometric measuring systems for non-contact flatness measurement of finish-machined as well as polished precision p...
Interferometric measuring systems for non-contact flatness measurement of finish-machined parts.
TOPOS interferometers operate according to the principle of grazing incidence of light. The flatness of also rougher parts can be measured, which show no more fringe pattern with optical flats or Fizeau-interferometers. Next to lapped or ground parts also polished parts can be measured.
By default, TOPOS flatness measuring instruments are available with two different sizes of measuring field: with a diameter of 100mm or 50m. An adaptation towards special sizes is possible according to request.
The parts may consist of diverse materials:
Examples of application areas:
- 白色光干渉計 | 干渉計 | 干渉計システム
- 白色光干渉計 | 光学測定技術 | 干渉計
- 白色光干渉計 | 光学測定技術 | 干渉計
- 白色光干渉計 | 共焦点センサー
- 白色光干渉計 | 光学測定技術 | 干渉計
- 白色光干渉計 | 干渉計 | 干渉計システム
第3世代の超安定したプラットフォームと独自のソフトウェアは、25年以上の経験の成果です。FRTのマルチセンサーコンセプトとハイブリッド計測技術は、世界中の生産ラインを支えています。アプリケーションは、非接触で完全に自動化されています。測定パラメータは、トポグラフィー、ステップハイト、ラフネス、TTV、曲率、反り、テンション、レイヤーとスタックの厚さ、オーバーレイとCDなど、多岐にわたります。
ポイントセンサー、ラインセンサー、エリアセンサー、層厚センサー、原子間力顕微鏡など、さまざまな測定方法を1つの測定装置とレシピで組み合わせることができます。
数々の賞を受賞した測定システムは、トポグラフィー、構造、段差、粗さ、摩耗、層の厚さ、その他多くのパラメータに関する情報を、非接触・非破壊で（完全に自動で）提供します。
アプリケーションに応じて、ポイントセンサー、ラインセンサー、エリアセンサー、層厚センサー、原子間力顕微鏡など、さまざまな測定方法を1台の測定器に組み合わせることができ、測定範囲はメートル単位からサブナノメートル単位まで対応しています。
精密加工された機能的な表面を、非接触で 3D 計測するためには、信頼性が高く、高速かつ高精度な計測技術が必要です。ポリテックの TopMap 光学式表面形状測定機は、粗い表面、滑らかな表面、段差のある表面のいずれにおいても、形状パラメータ、粗さ、テクスチャを確実かつ高精度に評価できる革新的な光学式表面形状測定技術です。TopMap 表面形状測定技術の白色光干渉計は、試験室でも生産管理でも活躍します。
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