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내용보기 FRT는 R&D 및 대량 생산을 위한 3D 계측 분야의 세계 최고의 공급업체 중 하나입니다. FRT MicroProf®는 반도체 프론트 엔드, 고급 패키징, MEMS, VCSEL, 자동차, 기계 공학, 광학, LED 및 의료 시장에서 설립되었습니다.
3세대 매우 안정적인 플랫폼과 독점 소프트웨어는 25년 이상의 경험의 결과입니다. FRT 다중 센서 개념과 하이브리드 측정 기술은 전 세계 생산 라인을 지원합니다. 응용 프로그램은 비접촉식이며 완전 자동입니다. 측정 매개변수는 지형, 계단 높이, 거칠기, TTV, 곡률, 뒤틀림, 장력, 레이어 및 스택 두께, 오버레이 및 CD 등입니다.
다양한 측정 방법을 하나의 측정 장치 및 레시피에서 점, 선 및 면적 센서, 층 두께 센서 및 원자력 현미경과 결합할 수 있습니다.
여러 수상 경력에 빛나는 측정 시스템은 지형, 구조, 단차 높이, 거칠기, 마모, 층 두께 및 기타 여러 매개변수, 비접촉 및 비파괴에 대한 정보를 완전 자동으로 제공합니다.
응용 분야에 따라 점, 선, 면적 및 층 두께 센서와 원자력 현미경을 사용한 다양한 측정 방법을 하나의 측정 장치에 결합할 수 있습니다. 측정 범위는 미터에서 나노미터 미만 범위까지 확장될 수 있습니다.
3세대 매우 안정적인 플랫폼과 독점 소프트웨어는 25년 이상의 경험의 결과입니다. FRT 다중 센서 개념과 하이브리드 측정 기술은 전 세계 생산 라인을 지원합니다. 응용 프로그램은 비접촉식이며 완전 자동입니다. 측정 매개변수는 지형, 계단 높이, 거칠기, TTV, 곡률, 뒤틀림, 장력, 레이어 및 스택 두께, 오버레이 및 CD 등입니다.
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여러 수상 경력에 빛나는 측정 시스템은 지형, 구조, 단차 높이, 거칠기, 마모, 층 두께 및 기타 여러 매개변수, 비접촉 및 비파괴에 대한 정보를 완전 자동으로 제공합니다.
응용 분야에 따라 점, 선, 면적 및 층 두께 센서와 원자력 현미경을 사용한 다양한 측정 방법을 하나의 측정 장치에 결합할 수 있습니다. 측정 범위는 미터에서 나노미터 미만 범위까지 확장될 수 있습니다.
- 공초점 센서 | 광학 계측 | 레이저 스캐닝 현미경
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