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Interferometric measuring systems for non-contact flatness measurement of finish-machined parts.
TOPOS interferometers operate according to the principle of grazing incidence of light. The flatness of also rougher parts can be measured, which show no more fringe pattern with optical flats or Fizeau-interferometers. Next to lapped or ground parts also polished parts can be measured.
By default, TOPOS flatness measuring instruments are available with two different sizes of measuring field: with a diameter of 100mm or 50m. An adaptation towards special sizes is possible according to request.
The parts may consist of diverse materials:
Examples of application areas:
- 백색광 간섭계 | 간섭계 | 간섭계 시스템
- 백색광 간섭계 | 광학 계측 | 간섭계
- 백색광 간섭계 | 광학 계측 | 간섭계
- 백색광 간섭계 | 공초점 센서
- 백색광 간섭계 | 광학 계측 | 간섭계
- 백색광 간섭계 | 간섭계 | 간섭계 시스템
3세대 매우 안정적인 플랫폼과 독점 소프트웨어는 25년 이상의 경험의 결과입니다. FRT 다중 센서 개념과 하이브리드 측정 기술은 전 세계 생산 라인을 지원합니다. 응용 프로그램은 비접촉식이며 완전 자동입니다. 측정 매개변수는 지형, 계단 높이, 거칠기, TTV, 곡률, 뒤틀림, 장력, 레이어 및 스택 두께, 오버레이 및 CD 등입니다.
다양한 측정 방법을 하나의 측정 장치 및 레시피에서 점, 선 및 면적 센서, 층 두께 센서 및 원자력 현미경과 결합할 수 있습니다.
여러 수상 경력에 빛나는 측정 시스템은 지형, 구조, 단차 높이, 거칠기, 마모, 층 두께 및 기타 여러 매개변수, 비접촉 및 비파괴에 대한 정보를 완전 자동으로 제공합니다.
응용 분야에 따라 점, 선, 면적 및 층 두께 센서와 원자력 현미경을 사용한 다양한 측정 방법을 하나의 측정 장치에 결합할 수 있습니다. 측정 범위는 미터에서 나노미터 미만 범위까지 확장될 수 있습니다.
정밀하게 제조된 기능성 표면을 접촉 없이 3D로 특성화하려면 신뢰할 수 있고 빠르며 정밀한 측정 기술이 필요합니다. 폴리텍의 TopMap 광학 프로파일로미터는 거칠거나 매끄러운 표면 또는 계단식 표면에서 형상 파라미터, 거칠기 및 질감을 안정적이고 정확하게 평가할 수 있는 혁신적인 광학 표면 측정 기술입니다. TopMap 표면 측정 기술의 백색광 간섭계는 테스트 실험실과 생산 관리 분야에서 널리 사용되고 있습니다.
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