Espectroscopia  Fabricantes, Comerciantes, Fornecedores

A FRT é um dos principais fornecedores mundiais de metrologia 3D para I&D e produção em massa. A FRT MicroProf® está estabelecida nos mercados de semicondutores front-end, embalagens avançadas, MEMS, VCSEL, automóvel, engenharia mecânica, óptica, LED e médico.
Uma plataforma ultra-estável de terceira geração e software proprietário são o resultado de mais de 25 anos de experiência. O conceito multisensor FRT e a tecnologia de medição híbrida suportam linhas de produção em todo o mundo. As aplicações são sem contacto e totalmente automáticas. Os parâmetros de medição são topografia, altura dos degraus, rugosidade, TTV, curvatura, deformação, tensão, espessura da camada e da pilha, overlay e CD - e muitos mais.
Diferentes métodos de medição podem ser combinados com sensores de ponto, linha e área, bem como sensores de espessura de camada e microscópios de força atómica num único dispositivo de medição e receita.
Os sistemas de medição multi-premiados fornecem (também totalmente automáticos) informação sobre topografia, estrutura, altura dos degraus, rugosidade, desgaste, espessura das camadas e muitos outros parâmetros, sem contacto e não destrutivos.
Dependendo da aplicação, diferentes métodos de medição com sensores de ponto, linha, área e espessura de camada, bem como microscopia de força atómica, podem ser combinados num único dispositivo de medição - os intervalos de medição podem estender-se desde o metro até ao sub-nanómetro.

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