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Interferometric measuring systems for non-contact flatness measurement of finish-machined parts.
TOPOS interferometers operate according to the principle of grazing incidence of light. The flatness of also rougher parts can be measured, which show no more fringe pattern with optical flats or Fizeau-interferometers. Next to lapped or ground parts also polished parts can be measured.
By default, TOPOS flatness measuring instruments are available with two different sizes of measuring field: with a diameter of 100mm or 50m. An adaptation towards special sizes is possible according to request.
The parts may consist of diverse materials:
Examples of application areas:
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Uma plataforma ultra-estável de terceira geração e software proprietário são o resultado de mais de 25 anos de experiência. O conceito multisensor FRT e a tecnologia de medição híbrida suportam linhas de produção em todo o mundo. As aplicações são sem contacto e totalmente automáticas. Os parâmetros de medição são topografia, altura dos degraus, rugosidade, TTV, curvatura, deformação, tensão, espessura da camada e da pilha, overlay e CD - e muitos mais.
Diferentes métodos de medição podem ser combinados com sensores de ponto, linha e área, bem como sensores de espessura de camada e microscópios de força atómica num único dispositivo de medição e receita.
Os sistemas de medição multi-premiados fornecem (também totalmente automáticos) informação sobre topografia, estrutura, altura dos degraus, rugosidade, desgaste, espessura das camadas e muitos outros parâmetros, sem contacto e não destrutivos.
Dependendo da aplicação, diferentes métodos de medição com sensores de ponto, linha, área e espessura de camada, bem como microscopia de força atómica, podem ser combinados num único dispositivo de medição - os intervalos de medição podem estender-se desde o metro até ao sub-nanómetro.
Para caracterizar superfícies funcionais e fabricadas com precisão em 3D sem contato, você precisa de uma tecnologia de medição que seja confiável, rápida e precisa. Os profilômetros ópticos TopMap da Polytec representam uma tecnologia inovadora de medição de superfície óptica para a avaliação confiável e precisa de parâmetros de forma, rugosidade e textura - seja em superfícies ásperas, lisas ou escalonadas. Os interferômetros de luz branca da tecnologia de medição de superfície TopMap são ideais para o laboratório de testes e para o controle de produção.
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Interferómetro de luz branca - Sinónimo, Singular/Plural
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