Fehérfényes interferométer  Gyártók, Kereskedők, Beszállítók

Az FRT a világ egyik vezető szállítója a 3D méréstechnika területén a kutatás-fejlesztés és a tömeggyártás számára. Az FRT MicroProf® a félvezető front-end, a fejlett csomagolás, a MEMS, a VCSEL, az autóipar, a gépgyártás, az optika, a LED és az orvostechnika piacán van jelen.
A harmadik generációs ultra-stabil platform és a saját fejlesztésű szoftver több mint 25 év tapasztalatának eredménye. Az FRT multiszenzoros koncepciója és hibrid mérési technológiája világszerte támogatja a gyártósorokat. Az alkalmazások érintésmentesek és teljesen automatikusak. A mérési paraméterek a topográfia, a lépésmagasság, az érdesség, a TTV, a görbület, a vetemedés, a feszültség, a réteg- és halmazvastagság, az overlay és a CD - és még sok más.
A különböző mérési módszerek pont-, vonal- és területérzékelőkkel, valamint rétegvastagság-érzékelőkkel és atomerő-mikroszkópokkal kombinálhatók egyetlen mérőeszközben és receptben.
A többszörösen díjnyertes mérőrendszerek (teljesen automatikusan is) információt szolgáltatnak a topográfiáról, a szerkezetről, a lépésmagasságról, az érdességről, a kopásról, a rétegvastagságról és sok más paraméterről, érintésmentesen és roncsolásmentesen.
Az alkalmazástól függően különböző mérési módszerek pont-, vonal-, terület- és rétegvastagság-érzékelőkkel, valamint atomerő-mikroszkópiával kombinálhatók egy mérőberendezésben - a mérési tartományok a méteres és a szubnanométeres tartományba terjedhetnek.