Trifluoretos de azoto  Fabricantes, Comerciantes, Fornecedores

O trifluoreto de azoto desempenha um papel fundamental no fabrico de semicondutores e em várias outras aplicações industriais. O trifluoreto de azoto é utilizado no processo de deposição de vapor químico enriquecido com plasma (PECVD) no fabrico de semicondutores. É fundamental para a limpeza e deposição de películas essenciais para componentes electrónicos de elevado desempenho. Nos processos de fotolitografia, o Trifluoreto de Azoto serve como agente fluorinizante, ajudando na criação de padrões precisos, cruciais para a microfabricação e o fabrico de chips.

Peso molecular: 71,002
Ponto de ebulição: -129,05 a 1,013 bar [℃] / -200,29 a 14,5 psi, [℉]
Densidade: 3,015 a 1,013bar, 15℃, [kg/m3] / 0,184 a 1 atm., 70 ℉, [lb/ft3]
Intervalo de inflamabilidade no ar, [% volume]: Não combustível
Volume específico: 0,332 a 1,013bar, 15℃, [m3/kg] / 5,43 a 1 atm., 70 ℉, [ft3/lb]

1. O trifluoreto de azoto é utilizado como agente de corrosão seletivo e de alta velocidade no processamento do silício. Tem sido utilizado para gravar silício, polissilício, nitreto de silício e óxido de silício, bem como metais refractários e silicietos.
2. O trifluoreto de azoto é por vezes utilizado como fonte de flúor em lasers químicos HF /DF. O trifluoreto de azoto é utilizado como agente fluorinizante. O trifluoreto de azoto é também utilizado no tratamento de fibras.