Azot triflorür  Üreticiler, Satıcılar, Teslimatçılar

Azot triflorür, yarı iletken üretiminde ve diğer çeşitli endüstriyel uygulamalarda önemli bir rol oynar. Azot triflorür, yarı iletken üretiminde plazma destekli kimyasal buhar biriktirme (PECVD) işleminde kullanılır. Yüksek performanslı elektronik bileşenler için kritik olan filmlerin temizlenmesine ve biriktirilmesine yardımcı olur. Fotolitografi sırasında, bir florlama maddesi olarak azot triflorür, mikro imalat ve talaş üretimi için gerekli olan hassas desen oluşturmaya yardımcı olur.

Molekül ağırlığı: 71.002
Kaynama noktası: 1.013 barda -129.05 [° C]/-200.29 14.5 psi/inç kare [° F]
Yoğunluk: 1.013 bar, 15 ° C'de 3.015, [kg/metreküp]/1 atmosferde 0.184, 70 ° F, [pound/feet küp]
Havadaki yanıcılık aralığı, [% hacim]: yanıcı değil
Spesifik hacim: 1.013 bar, 15 ° C'de 0.332, [m3/kg]/1 atmosferde 5.43, 70 ° F, [ft3/lb]

1.Azot triflorür, silikon işlemede yüksek hızlı seçici etchant olarak kullanılır. Silikon, polisilikon, silikon nitrür ve silikon oksidin yanı sıra refrakter metaller ve silisitleri aşındırmak için kullanılmıştır.
2.Azot triflorür bazen HF/DF kimyasal lazerlerde bir flor kaynağı olarak kullanılır. Azot triflorür bir florlama maddesi olarak kullanılır. Azot triflorür ayrıca lif işleminde kullanılır.